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J-GLOBAL ID：200903085247385542

自重支持装置

Inventor： 堆 浩太郎 ,  小山内 英司 ,  鎌田 重人
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993277325
Publication number (International publication number)：1995111238
Application date： Oct. 12, 1993
Publication date： Apr. 25, 1995
Summary：

【要約】【目的】 極めて高い面精度が要求される構造体の自重を、その構造体の面精度を損なうことなく支持する。【構成】 被駆動体1を、基盤6より重力方向に移動する駆動手段7,8,9と、被駆動体の自重を駆動後の位置に支持する支持手段10,11,13,14,15とを具えた自重支持装置において、前記駆動手段の発生力と前記支持手段の支持力が同軸上に来るように駆動手段と支持手段を配置する。

Claim (excerpt)：

被駆動体を、基盤より重力方向に移動する駆動手段と、被駆動体の自重を駆動後の位置に支持する支持手段とを具えた自重支持装置において、前記駆動手段の発生力と前記支持手段の支持力が同軸上にあることを特徴とする自重支持装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  B23Q 1/03 ,  H01L 21/68

FI (2)：

H01L 21/30 503 B ,  B23Q 1/02 T

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭63-021648
  
• 特開昭63-021648
  
• 特開昭63-078091
  
• 特開昭63-078091