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J-GLOBAL ID:200903085249103234
光集積素子
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
光石 俊郎 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996075888
Publication number (International publication number):1997265020
Application date: Mar. 29, 1996
Publication date: Oct. 07, 1997
Summary:
【要約】【課題】 光受動素子を集積した光集積素子提供することを課題とする。【解決手段】 光集積素子は、アルミニウム(Al)を構成元素とする半導体層であるInAlAs(12)の一部を酸化してInAlAs選択酸化層(13)を形成してなる光受動素子を集積化してなるものである。
Claim (excerpt):
アルミニウム(Al)を構成元素とする半導体層の一部を酸化してなる光受動素子を集積化してなることを特徴とする光集積素子。
IPC (2):
FI (2):
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