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J-GLOBAL ID：200903085251175790

外観検査装置

Inventor： 香月 勇三 ,  山本 琢磨
Applicant, Patent owner： 株式会社東京精密
Agent (5)： 石田 敬 ,  鶴田 準一 ,  廣瀬 繁樹 ,  西山 雅也 ,  樋口 外治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002265127
Publication number (International publication number)：2004101403
Application date： Sep. 11, 2002
Publication date： Apr. 02, 2004
Summary：

【課題】簡易かつ低費用で明視野照明と暗視野照明との両方を実現する。【解決手段】光源と、光源からの光の第一の偏光を反射させつつ第二の偏光を通過させる偏光ミラーと、偏光ミラーにより反射された第一の偏光を標本上に収束させる対物レンズと、偏光ミラーと標本との間に配置されたλ/2波長板含有部材とを具備し、λ/2波長板含有部材はλ/2波長板部分を部分的に含んでおり、偏光ミラーにより反射された低次の第一の偏光が波長板部分を通過することにより形成された第二の偏光の反射光のうちの低次の回折光を波長板部分に通過させて第一の偏光とした後に偏光ミラーにより反射すると共に、偏光ミラーにより反射された高次の第一の偏光が波長板部分を通過することなしに反射した反射光のうちの低次の回折光を波長板部分に通過させることなしに波長板含有部材に通過させて偏光ミラーにより反射するようにした外観検査装置が提供される。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

光源と、 該光源からの光の第一の偏光を反射させつつ第二の偏光を通過させる偏光ミラーと、 該偏光ミラーにより反射された第一の偏光を標本上に収束させる対物レンズと、 前記偏光ミラーと前記標本との間に配置されたλ/2波長板含有部材とを具備し、前記λ/2波長板含有部材はλ/2波長板部分を部分的に含んでおり、 さらに、 前記標本により反射した反射光が前記偏光ミラーを通過した位置に配置された検出部とを具備し、 前記偏光ミラーにより反射された前記第一の偏光のうちの低次の回折光が前記λ/2波長板含有部材の前記λ/2波長板部分を通過することにより形成された前記第二の偏光の反射光のうちの低次の回折光を前記λ/2波長板部分に通過させて前記第一の偏光とした後に前記偏光ミラーにより反射すると共に、 前記偏光ミラーにより反射された前記第一の偏光のうちの高次の回折光が前記λ/2波長板含有部材の前記λ/2波長板部分を通過することなしに反射した反射光のうちの低次の回折光を前記λ/2波長板部分に通過させることなしに前記λ/2波長板含有部材に通過させて前記偏光ミラーにより反射するようにした外観検査装置。

IPC (4)：

G01N21/956 ,  G01B11/24 ,  G02B21/06 ,  H01L21/66

FI (4)：

G01N21/956 A ,  G02B21/06 ,  H01L21/66 J ,  G01B11/24 F

F-Term (36)：

2F065AA49 ,  2F065AA56 ,  2F065BB02 ,  2F065BB03 ,  2F065BB17 ,  2F065BB18 ,  2F065CC19 ,  2F065DD02 ,  2F065DD09 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065HH16 ,  2F065HH17 ,  2F065JJ03 ,  2F065LL21 ,  2F065LL33 ,  2F065LL35 ,  2F065LL37 ,  2F065UU07 ,  2G051AA51 ,  2G051AB11 ,  2G051AB20 ,  2G051BA11 ,  2G051BB05 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2H052AC04 ,  2H052AC08 ,  2H052AC17 ,  4M106AA01 ,  4M106BA06 ,  4M106CA38 ,  4M106DB07 ,  4M106DB12 ,  4M106DB13 ,  4M106DB18