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J-GLOBAL ID:200903085280083446
光重合性組成物
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
小田島 平吉 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996272872
Publication number (International publication number):1998104826
Application date: Sep. 25, 1996
Publication date: Apr. 24, 1998
Summary:
【要約】【課題】 酸素による硬化阻害がなく硬化性に優れた可視光レーザー硬化型レジスト組成物及びこの組成物を用いたレジストパターンの形成方法を提供する。【解決手段】 亜燐酸エステル化合物および芳香環を形成する炭素原子に結合したN,N-ジメチルアミノ基を有する芳香族化合物から選ばれる少なくとも1種のラジカル保護化合物を含有することを特徴とする可視光レーザー硬化型レジスト組成物、及びこの組成物を用いたレジストパターンの形成方法。
Claim (excerpt):
亜燐酸エステル化合物および芳香環を形成する炭素原子に結合したN,N-ジメチルアミノ基を有する芳香族化合物から選ばれる少なくとも1種のラジカル保護化合物を含有することを特徴とする光重合性組成物。
IPC (4):
G03F 7/004 501
, C08F 2/48
, C08F 2/50
, G03F 7/028
FI (4):
G03F 7/004 501
, C08F 2/48
, C08F 2/50
, G03F 7/028
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (10)
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特開平2-291561
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光重合性組成物及びそれを用いた印刷版の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-315253
Applicant:東京応化工業株式会社, チバ-ガイギーアクチエンゲゼルシャフト
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感光性転写シート
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-040261
Applicant:富士写真フイルム株式会社
-
光重合性組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-225481
Applicant:東洋インキ製造株式会社
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近赤外光重合開始剤
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-003138
Applicant:昭和電工株式会社
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無フッ素チタノセンおよびその用途
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-107425
Applicant:チバ-ガイギーアクチエンゲゼルシャフト
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特開平3-223759
-
光重合性組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-206061
Applicant:三菱化学株式会社
-
光重合性組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-206062
Applicant:三菱化学株式会社
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光重合性組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-243176
Applicant:三菱レイヨン株式会社
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