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J-GLOBAL ID：200903085281680332

ペレットの製造方法

Inventor： 国吉 真暁 ,  鈴木 東吾
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 則近 憲佑
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992141237
Publication number (International publication number)：1993335411
Application date： Jun. 02, 1992
Publication date： Dec. 17, 1993
Summary：

【要約】【構成】本発明のペレットの製造方法は、あらかじめ溝入れ工程において、シリコン基板の表面側にペレットの分割予定境界線に沿って有底の溝を刻設し、裏面研削工程によるシリコン基板の裏面の除去と同時に溝を裏面に連通させ、各ペレットを分離させるようにしたものである。【効果】上記構成を有する従来のように裏面研削工程にハンドリングし直してダイシングする必要がなくなり、ダイシングする際に発生するシリコン基板の割れを防止することができる。このことは、シリコン基板が大口径である場合とか、裏面研削後のシリコン基板の厚さが薄めである場合に顕著に奏効し、裏面研削加工工程の歩留向上、作業能率改善に寄与するところ大となる。

Claim (excerpt)：

基板の表面側のペレット分割予定に従って有底の溝を形成する溝入れ工程と、この溝入れ工程後に上記基板の表面側を保持し上記基板の裏面側を少なくとも上記溝の底部が開口し上記ペレットが形成されるまで研削する裏面研削工程とを具備することを特徴とするペレットの製造方法。

IPC (3)：

H01L 21/78 ,  B24B 7/22 ,  H01L 21/322

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平3-087027
  
• 特開昭61-112345
  
• 特開昭64-038209
  
• 特開昭63-081934