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J-GLOBAL ID:200903085313392660

フッ素含有水用処理装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 内山 充
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992247307
Publication number (International publication number):1994063561
Application date: Aug. 24, 1992
Publication date: Mar. 08, 1994
Summary:
【要約】【構成】フッ素含有水貯槽と、着脱自在な粒状炭酸カルシウム充填塔と、該貯槽からフッ素含有水を充填塔へ送液するための配管と、充填塔から出た処理水を該貯槽へ返送するための循環用配管とから構成されたフッ素含有水用処理装置。【効果】半導体製造分野などから排出されるフッ素含有廃液をそれぞれ個別に大がかりな配管工事が不要で経済的有利に処理し、該廃液中のフッ素を高純度のフッ化カルシウムとして回収することができる。
Claim (excerpt):
フッ素含有水貯槽と、着脱自在な粒状炭酸カルシウム充填塔と、該貯槽からフッ素含有水を充填塔へ送液するための配管と、充填塔から出た処理水を該貯槽へ返送するための循環用配管とから構成されたフッ素含有水用処置装置。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
  • 特開昭50-127872
  • 特開昭53-064956
  • 特開昭48-032357
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