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J-GLOBAL ID：200903085330274930

観察装置、位置検出装置、露光装置、および露光方法

Inventor： 長山 匡
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 山口 孝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003121244
Publication number (International publication number)：2004327769
Application date： Apr. 25, 2003
Publication date： Nov. 18, 2004
Summary：

【課題】照明条件を迅速に且つ多様に切り換えて、マークの特性に応じた適切な照明条件のもとでその位置を高精度に検出することのできる位置検出装置。【解決手段】照明系(1〜14)は、物体(W)に照射される照明光の光量、物体に照射される照明光の波長域、および物体に照射される照明光の光路のうちの少なくとも1つに関する条件を切り換えるために、入射光束の反射方向を独立的に変更可能な複数の微小ミラーを有する反射型空間変調素子(4)を備えている。反射型空間変調素子は、照明光の光量の切り換えのために、反射光を照明光路に沿って導くための第1群の微小ミラーの数と、反射光を照明光路の外へ導くための第2群の微小ミラーの数との比率を変化させる。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

観察すべき物体に照明光を照射するための照明系を備え、前記照明光により照明された前記物体からの光に基づいて前記物体を観察する観察装置において、 前記照明系は、前記物体に照射される照明光の光量、前記物体に照射される照明光の波長域、および前記物体に照射される照明光の光路のうちの少なくとも1つに関する条件を切り換えるために、入射光束の反射方向を独立的に変更可能な複数の微小ミラーを有する反射型空間変調素子を備えていることを特徴とする観察装置。

IPC (3)：

H01L21/027 ,  G01B11/00 ,  G03F7/20

FI (3)：

H01L21/30 525R ,  G01B11/00 C ,  G03F7/20 521

F-Term (28)：

2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065BB02 ,  2F065BB27 ,  2F065CC19 ,  2F065FF04 ,  2F065GG02 ,  2F065GG07 ,  2F065HH16 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL20 ,  2F065LL22 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065NN03 ,  2F065NN06 ,  2F065PP12 ,  5F046FA03 ,  5F046FA07 ,  5F046FA11 ,  5F046FA17 ,  5F046FB08 ,  5F046FB10 ,  5F046FB14