Pat

J-GLOBAL ID：200903085331993876

反応容器

Inventor： 川田 敦雄 ,  柳沢 勲 ,  萩原 浩二
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 小島 隆司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996241438
Publication number (International publication number)：1998067584
Application date： Aug. 23, 1996
Publication date： Mar. 10, 1998
Summary：

【要約】【課題】 耐蝕性及び耐熱衝撃性に優れ、半導体製造分野、特にプラズマCVD反応装置用として好適な反応容器を得る。【解決手段】 熱分解窒化硼素で形成された反応容器本体内壁に窒化アルミニウムを被覆する。

Claim (excerpt)：

熱分解窒化硼素で形成された反応容器本体の内壁に窒化アルミニウムが被覆されてなることを特徴とする反応容器。

IPC (7)：

C04B 41/87 ,  B01J 19/08 ,  C23C 16/44 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/205 ,  C30B 25/02 ,  C30B 25/08

FI (7)：

C04B 41/87 D ,  B01J 19/08 E ,  C23C 16/44 B ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/205 ,  C30B 25/02 P ,  C30B 25/08