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J-GLOBAL ID：200903085340314493

光導波路の製造方法

Inventor： 斎藤 隆志 ,  花田 忠彦
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997050457
Publication number (International publication number)：1998246826
Application date： Mar. 05, 1997
Publication date： Sep. 14, 1998
Summary：

【要約】【課題】 安全性、簡便性に優れ、熱ひずみ等の問題の少ない光誘起屈折率変化を用いた石英系光導波路の製造方法を提供する。【解決手段】 石英系材料よりなる光導波路の製造方法において、有機材料を含む原料を用いて常圧化学気相堆積(AP-CVD)法により基板上に石英系光導波路層を形成した後、該石英系光導波路層の少なくとも一部に紫外光を照射し、該紫外光を照射した部分の屈折率を変調させる。有機材料として、(a)シリコン系有機化合物、(b)リン系有機化合物、(c)ゲルマニウム系有機化合物またはボロン系有機化合物を含むものを用い、光導波路層形成時に3mol%以上の酸化リン(P2O5)をドープする。

Claim (excerpt)：

石英系材料よりなる光導波路の製造方法において、有機材料を含む原料を用いて常圧化学気相堆積(AP-CVD)法により基板上に石英系光導波路層を形成した後、該石英系光導波路層の少なくとも一部に紫外光を照射し、該紫外光を照射した部分の屈折率を変調させることを特徴とする光導波路の製造方法。

IPC (2)：

G02B 6/12 ,  G02B 6/13

FI (2)：

G02B 6/12 N ,  G02B 6/12 M

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• シリカ平面導波路構造体における複屈折の放射線分解による修正
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-040904   Applicant：エイ・ティ・アンド・ティ・アイピーエム・コーポレーション
• 特開平4-298702
  
• 光導波路の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-313259   Applicant：三菱電機株式会社
• 導波路型グレーティング及びその製造方法並びにその導波路型グレーティングを用いた光フィルタ及び波長多重光伝送システム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-076327   Applicant：三菱電機株式会社