Pat
J-GLOBAL ID：200903085379228080
試料の搬送装置
Inventor：
,
,
,
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
明田 莞
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994318331
Publication number (International publication number)：1996181183
Application date： Dec. 21, 1994
Publication date： Jul. 12, 1996
Summary：
【要約】【目的】 試料が大型化しても、試料の搬送時間を短縮し得るとともに、ごみや空気中の水分の発生の少ない、試料の搬送装置を提供する。【構成】 試料を大気圧下でカセット2より出し入れする第1搬送装置1と、試料を真空室5内で処理室7に出し入れする第2搬送装置6とを備えるとともに、第2搬送装置6を備える真空室5と第1搬送装置1との間に個別に真空引き可能で且つ試料1枚を収納し得る保持室4を2室以上配設し、前記保持室4の一方の出入り口を真空室5にゲートバルブ14を介在させて接続し、他方の出入り口にゲートバルブ10を設けてなる。
Claim (excerpt)：
試料を大気圧下でカセットより出し入れする第1搬送装置と、試料を真空室内で処理室に出し入れする第2搬送装置とを備えるとともに、第2搬送装置を備える真空室と第1搬送装置との間に個別に真空引き可能で且つ試料1枚を収納し得る保持室を2室以上配設し、前記保持室の一方の出入り口を真空室にゲートバルブを介在させて接続し、他方の出入り口にゲートバルブを設けたことを特徴とする試料の搬送装置。
IPC (3)：
H01L 21/68
, H01L 21/02
, H01L 21/3065
