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J-GLOBAL ID：200903085387357972

テラヘルツ光等の検出方法及び装置、並びに、これを用いたテラヘルツ光装置及びイメージ化装置

Inventor： 谷 正彦 ,  ミヒャエル ヘルマン ,  阪井 清美 ,  深澤 亮一 ,  宇佐見 護
Applicant, Patent owner： 独立行政法人通信総合研究所 ,  株式会社栃木ニコン ,  株式会社ニコン
Agent (1)： 四宮 通
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001269621
Publication number (International publication number)：2003075251
Application date： Sep. 06, 2001
Publication date： Mar. 12, 2003
Summary：

【要約】【課題】 高いSN比でテラヘルツ光等を検出することができ、更に装置のコストダウン及びコンパクト化を図る。【解決手段】 テラヘルツ光がテラヘルツ光検出器11に入射している時及びテラヘルツ光がテラヘルツ光検出器11に入射していない時の双方において、プローブパルス光L3がテラヘルツ光検出器11に照射される。信号処理部21は、テラヘルツ光L6がテラヘルツ光検出器11に入射している時にプローブパルス光L3に応答してテラヘルツ光検出器11から得られるパルス電気信号の積分値と、テラヘルツ光L6がテラヘルツ光検出器11に入射していない時にプローブパルス光L3に応答してテラヘルツ光検出器11から得られるパルス電気信号の積分値との、差分に応じた、検出信号を得る。

Claim (excerpt)：

検出すべき入力に応じた出力信号を、所定の検出状態において出力する検出部を用い、前記検出すべき入力を検出する検出方法において、前記検出すべき入力が前記検出部に入力されている時及び前記検出すべき入力が前記検出部に入力されていない時の双方において、前記検出部を前記検出状態とし、前記検出すべき入力が前記検出部に入力されている時に前記検出状態において前記検出部から得られる出力信号の所定種類の値と、前記検出すべき入力が前記検出部に入力されていない時に前記検出状態において前記検出部から得られる出力信号の前記所定種類の値との、差分に応じた、検出信号又は検出データを得ることを特徴とする検出方法。

IPC (3)：

G01J 1/42 ,  G01J 11/00 ,  G01N 21/35

FI (3)：

G01J 1/42 Z ,  G01J 11/00 ,  G01N 21/35 Z

F-Term (19)：

2G059AA05 ,  2G059EE12 ,  2G059GG01 ,  2G059GG08 ,  2G059GG10 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ24 ,  2G059JJ30 ,  2G059KK01 ,  2G059KK10 ,  2G059MM01 ,  2G059NN09 ,  2G065AA04 ,  2G065AB16 ,  2G065AB30 ,  2G065BA40 ,  2G065BC04 ,  2G065DA20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 電圧測定方法及び装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-049507   Applicant：富士通株式会社
• 特開平4-215041
  
• 特開平4-076484
  

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 応用物理, 20010210, 第70巻 第2号, p.149〜155
• Applied Optics, 20000610, Vol.39 No.17, p.2982〜2987