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J-GLOBAL ID：200903085408993394

干渉フィルタ付光導波路

Inventor： 小口 泰介 ,  須田 裕之 ,  塙 文明 ,  高戸 範夫 ,  富田 信夫
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 光石 俊郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992138571
Publication number (International publication number)：1993333222
Application date： May. 29, 1992
Publication date： Dec. 17, 1993
Summary：

【要約】【目的】 基板上に光導波路よりなる光導波回路を構成すると共に該光導波路を横断する溝を形成し、該溝に干渉フィルタを挿入してなる干渉フィルタ付光導波路において、反射戻り光の減衰率を高める為に前記溝を傾斜させる際に、作業性を低下させず、チップの寸法を大きくさせることなく、生産性を向上させることを目的とする。【構成】 前記溝を、基板面内において傾斜させるのではなく、深さ方向に対して垂直方向より所定の角度傾斜させるので、ウェハの状態において溝を形成する作業が容易となる。

Claim (excerpt)：

基板上に光導波路よりなる光導波回路を構成すると共に該光導波路を横断する溝を形成し、該溝に干渉フィルタを挿入してなる干渉フィルタ付光導波路において、前記溝は、深さ方向に対して垂直方向より所定の角度傾斜していることを特徴とする干渉フィルタ付光導波路。

IPC (2)：

G02B 6/12 ,  G02B 6/00 306

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭63-033713
  
• 特開昭50-147343