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J-GLOBAL ID:200903085417908847
電子注入性電極の製造方法およびこの方法を用いた有機EL素子の製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
中村 静男
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991320776
Publication number (International publication number):1993159882
Application date: Dec. 04, 1991
Publication date: Jun. 25, 1993
Summary:
【要約】 (修正有)【目的】アルカリ金属を含有する化学的安定性の高い電子注入性電極をその組成を容易に制御しつつ製造する方法と、発光効率が向上した均一発光の有機EL素子を容易に得られる有機EL素子の製造方法を提供する。【構成】Li合金及び/又はLi化合物をLi用蒸着源とし、他に短周期律表のIb族、IIa族、IIb族、 IIIa族、 IIIb族、IVa族、IVb族、Va族、Vb族、VIa族、VIb族、 VIIb族及びVIII族のいずれかの族に属する少なくとも1種の第2金属を第2蒸着源とする多元蒸着法により、Li用蒸着源から実質的にLiのみを、又第2蒸着源から第2金属を蒸着させて、Li含有膜からなる電子注入性電極を得る。有機EL素子の製造方法では、互いに対向する2つの電極の間に少なくとも有機発光材料が介在してなる有機EL素子を製造するにあたって、2つの電極のうちの一方の電極を、上述した電子注入性電極の製造方法に基づいて得る。
Claim (excerpt):
Li合金および/またはLi化合物をLi用蒸着源とし、他に短周期律表のIb族、IIa族、IIb族、 IIIa族、 IIIb族、IVa族、IVb族、Va族、Vb族、VIa族、VIb族、 VIIb族、およびVIII族のいずれかの族に属する少なくとも1種の第2金属を第2蒸着源とする多元蒸着法により、前記Li用蒸着源から実質的にLiのみを、そして前記第2蒸着源から前記第2金属を蒸着させて、Li含有膜からなる電極を得ることを特徴とする電子注入性電極の製造方法。
IPC (4):
H05B 33/26
, G09F 9/30 365
, H05B 33/10
, H01B 1/02
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