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J-GLOBAL ID：200903085425968654
純水製造装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
曾我 道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998017218
Publication number (International publication number)：1999216329
Application date： Jan. 29, 1998
Publication date： Aug. 10, 1999
Summary：
【要約】【課題】 簡素化された、とくに半導体の製造に適した純水製造装置を提供すること。【解決手段】 温水と気体を接触させて気体を加湿する加湿器52と、水素イオン導電性の固体高分子電解質膜の両面に電極を設けた複数の固体高分子電解素子を空気の通気路を形成しながら積層して構成した固体高分子電解モジュール51と、飽和状態に加湿された気体を冷却して水蒸気を凝縮する水凝縮器55とを備え、加湿器52と固体高分子電解モジュール51の陽極側通気路54とが気体循環手段57を介して連結し両者間で気体が循環可能になっており、かつ水凝縮器55と固体高分子電解モジュール51の陰極側通気路56とが気体循環手段58を介して連結し両者間で気体が循環可能になっている純水製造装置50。
Claim (excerpt)：
温水と気体を接触させて気体を加湿する加湿器と、水素イオン導電性の固体高分子電解質膜の両面に電極を設けた複数の固体高分子電解素子を空気の通気路を形成しながら積層して構成した固体高分子電解モジュールと、飽和状態に加湿された気体を冷却して水蒸気を凝縮する水凝縮器とを備え、前記加湿器と前記固体高分子電解モジュールの陽極側通気路とが気体循環手段を介して連結し両者間で気体が循環可能になっており、かつ前記水凝縮器と前記固体高分子電解モジュールの陰極側通気路とが気体循環手段を介して連結し両者間で気体が循環可能になっていることを特徴とする純水製造装置。
FI (2)：
B01D 53/26 Z
, B01D 53/26 A
