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J-GLOBAL ID：200903085461272712

真空装置

Inventor： 法島 浩章
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992275827
Publication number (International publication number)：1994124676
Application date： Oct. 14, 1992
Publication date： May. 06, 1994
Summary：

【要約】【目的】 真空度の悪化による装置の停止を事前に予測し得る電子顕微鏡や電子ビーム描画装置などの真空装置を実現する。【構成】 真空計3によって測定された被排気室1の真空度はコントローラ4を介してメモリー5に記憶される。コントローラ4は、メモリー5に記憶された真空度から所定単位時間当りの変化量を測定している。そして、測定された変化量と予めコントローラ4内に記憶されている設定変化量とを比較し、測定された変化量が設定変化量以上のとき、アラーム信号を発生する。

Claim (excerpt)：

被真空排気室の真空度を測定するための真空計と、真空計によって測定された真空度の信号が供給され、単位時間当りの真空度の変化量を測定し、その変化量が予め定めた基準の変化量以上となったとき、警報を発するための手段とを備えた真空装置。

IPC (5)：

H01J 37/18 ,  G21K 5/00 ,  H01J 37/305 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504