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J-GLOBAL ID:200903085476146829
回折光学素子、該回折光学素子を有する光学機器
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
長尾 達也
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001166424
Publication number (International publication number):2002062419
Application date: Jun. 01, 2001
Publication date: Feb. 28, 2002
Summary:
【要約】【課題】製造上において優れた構成を有し、格子面での反射を大幅に低減でき、高い回折効率を維持することが可能な、安価で高精度の回折光学素子、該回折光学素子を有する光学機器を提供する。【解決手段】位相型の回折格子6を備えた第1の回折光学部2と、第1の回折光学部2とは異なる材料より成る位相型の回折格子7を備えた第2の回折光学部3の表面に、使用波長より小さい微小凹凸構造を有する構成とする。
Claim (excerpt):
位相型の回折格子を備えた回折光学部を有する回折光学素子であって、前記回折光学部の回折格子はその表面に周期が略一定の微小凹凸構造を有し、該周期は使用波長より小さいことを特徴とする回折光学素子。
IPC (4):
G02B 5/18
, G02B 1/11
, G03B 11/00
, G03B 13/02
FI (4):
G02B 5/18
, G03B 11/00
, G03B 13/02
, G02B 1/10 A
F-Term (15):
2H018BE00
, 2H018BE07
, 2H049AA03
, 2H049AA04
, 2H049AA17
, 2H049AA18
, 2H049AA51
, 2H049AA55
, 2H049AA63
, 2H049AA65
, 2H083AA16
, 2H083AA26
, 2H083AA30
, 2H083AA41
, 2K009AA12
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
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特開平1-252902
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回折光学素子及びこれを有する光学系
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-263020
Applicant:キヤノン株式会社
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