Pat
J-GLOBAL ID:200903085486126834
受光素子
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
杉浦 正知
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992170126
Publication number (International publication number):1993343731
Application date: Jun. 04, 1992
Publication date: Dec. 24, 1993
Summary:
【要約】【目的】 受光感度及び受光効率が高く、暗電流特性及び高速応答性も良好な受光素子を実現する。【構成】 半絶縁性半導体基板1上に吸収層2を設け、この吸収層2上にショットキーコンタクト層3を設ける。このショットキーコンタクト層3上に直接ショットキー電極4を設けるとともに、吸収層2及びショットキーコンタクト層3中に半絶縁性半導体基板1に達するように設けた低抵抗の拡散層6上にオーミック電極5をショットキー電極4と対向して設ける。
Claim (excerpt):
半導体基板と、上記半導体基板上に設けられた吸収層と、上記吸収層中に設けられた拡散層上に設けられたオーミック電極と、上記吸収層上に上記オーミック電極と対向して設けられたショットキー電極とを有する受光素子。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
-
特開平3-183169
-
特開昭63-269580
-
特開平4-225576
Return to Previous Page