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J-GLOBAL ID：200903085488528662

ポリマー材の大気圧のグロー放電プラズマ処理方法および装置

Inventor： ロス,ジョン リース ,  ツァイ,ピーター ピンイ. ,  リュウ,チャオユ ,  ワーズワース,ローリー シー. ,  スペンス,ポール ディー. ,  ラルーシ,モニール
Applicant, Patent owner： ザ ユニバーシティ オブ テネシー リサーチ コーポレーション
Agent (1)： 渡辺 望稔 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1995501055
Publication number (International publication number)：1996511898
Application date： May. 26, 1994
Publication date： Dec. 10, 1996
Summary：

【要約】定常状態のグロー放電プラズマが、1気圧の圧力下で、最大5cmの距離離隔し、1-100kHzで1-5kVのrms電位(20)で無線周波(RF)充電された一組の絶縁された金属板電極の間の容積(S)に発生する。電極間の空間は、空気、窒素酸化物、およびヘリウム、ネオン、アルゴン、等もしくはこれらの混合物のような貴ガスにより占められる。電極は、最も安定で均一なグロー放電を発生させるよう調節されているインピーダンスマッチングネットワークにより充電される。また、前述したプラズマ装置を使用した、溶融吹き出し方法によるポリマー布の処理方法も含まれる。

Claim (excerpt)：

無線周波(RF)増幅手段によってエネルギが付与される電気的に絶縁された一組の電極を有し、前記RF増幅手段が、1ないし100kHzで1ないし少なくとも5kVの電位を持つインピーダンスマッチングネットワークでエネルギを前記電極に付与し、前記電極が、約1気圧の圧力のグロー放電プラズマ維持ガスで前記電極間の容積空間を充填する手段に対して互いに反対側に等距離に整列されかつ固定されるグロー放電プラズマ発生装置であって、 前記装置は、RF電界の印加周波数を付与することによって均一な1気圧のグロー放電プラズマを生成し、かつ維持する手段を有し、前記RF電界の印加周波数は、前記電極間の前記プラズマの陽イオンをトラップするのに十分に高いが、前記プラズマの電子も、またRF電圧の半サイクルの間にトラップされるほど高くないグロー放電プラズマ発生装置。

IPC (2)：

H05H 1/46 ,  D06M 10/00

FI (3)：

H05H 1/46 A ,  D06M 10/00 ,  D06M 10/00 G