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J-GLOBAL ID:200903085490170120

ワーク表面検査装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 杉村 暁秀 (外5名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992000941
Publication number (International publication number):1993180782
Application date: Jan. 07, 1992
Publication date: Jul. 23, 1993
Summary:
【要約】【目的】 検査データと基本データとを定量的に比較して検査データを評価することにより、付着塵埃等と欠陥との区別を容易し、評価結果の精度および信頼性を向上させ、欠陥時のデータのデータベースの構築を容易し、評価に要する時間を短縮することを目的とする。【構成】 検査光20を車体4の表面に線状に照射しつつその照射位置を逐次移動させて車体表面を走査する光源21と、その検査光の車体表面からの反射光を受光するラインセンサ22と、そのラインセンサの出力信号を輝度により階調分けする画像処理ユニット23と、その階調分けした信号を高速フーリエ変換してパワースペクトルを求めるFFTアナライザ24と、そのパワースペクトルを回帰分析して得た特性値と、予め記録した欠陥時の特性値を示す基本データとを比較して、車体表面の欠陥を評価する演算処理ユニット26と、を具えてなるものである。
Claim (excerpt):
検査光(20)をワーク(4)の表面に線状に照射しつつその照射位置を逐次移動させてワーク表面を走査する検査光照射手段(21)と、前記検査光のワーク表面からの反射光を受光する一次元光センサ(22)と、前記一次元光センサの出力信号を、受光した光の輝度により階調分けする階調分け手段(23)と、前記階調分けした信号を高速フーリエ変換してパワースペクトルを求める周波数分析手段(24)と、前記パワースペクトルを回帰分析して得た特性値と、予め記録した欠陥時の特性値を示す基本データとを比較して、ワーク表面の欠陥を評価する欠陥評価手段(26)と、を具えてなる、ワーク表面検査装置。
IPC (4):
G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G06F 15/62 400 ,  G06F 15/70 330

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