Pat

J-GLOBAL ID：200903085520862464

静電チャック

Inventor： 辰己 良昭 ,  宮田 征一郎
Applicant, Patent owner： 株式会社創造科学 ,  有限会社宮田技研
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995118907
Publication number (International publication number)：1996279550
Application date： Apr. 07, 1995
Publication date： Oct. 22, 1996
Summary：

【要約】【目的】 誘電体セラミック面の冷却特性に優れ併せてプラズマ放電の電極面周囲への回り込みを防止できる静電チャックの構造に関わる。【構成】 誘電体セラミックの板と電気絶縁性の台座の間に電極金属層が挟まれて接合一体化された構造であって、該電極金属の層は電極形状に配されたロー材からなり、該誘電体セラミックの板と電気絶縁性の台座に融着してなることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

誘電体セラミックの板と電気絶縁性の台座の間に電極金属層が挟まれて接合一体化された構造であって、該電極金属の層は電極形状に配されたロー材からなり、該誘電体セラミックの板と電気絶縁性の台座に融着してなることを特徴とする静電チャック。

IPC (4)：

H01L 21/68 ,  B23K 1/00 330 ,  H01L 21/205 ,  B23Q 3/15

FI (4)：

H01L 21/68 R ,  B23K 1/00 330 Z ,  H01L 21/205 ,  B23Q 3/15 D