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J-GLOBAL ID：200903085522898792

新規なカンチレバー構造

Inventor： ビンニヒ、ゲルト、カール ,  ブルガー、ユルゲン ,  ヘーベルレ、ヴァルター ,  ローラー、ハインリヒ ,  ペーター、フェッティガー
Applicant, Patent owner： インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン
Agent (1)： 坂口 博 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1997532383
Publication number (International publication number)：1999512830
Application date： Mar. 13, 1996
Publication date： Nov. 02, 1999
Summary：

【要約】本発明は、表面(16)を走査するためのカンチレバー装置に関する。この装置は、第1のプローブ(14)を有する第1のカンチレバー(11)と、第2のプローブ(15)を有する第2のカンチレバー(13)を含む。両方のカンチレバー(11、13)は、第2のカンチレバー(13)が第1のカンチレバー(11)の動きに従うように、すなわち第1のカンチレバー(11)の反りが第2のカンチレバー(13)の反りを規定するように機械的に結合される。

Claim (excerpt)：

表面(16、26、36)を走査するためのカンチレバー装置であって、少なくとも1つの第1のプローブ(14、24、34、54、64、74、84)を有する第1のカンチレバー(11、21、33、51、61、71、81)と、第2のプローブ(15、25、35、55、65、75、85)を有する第2のカンチレバー(13、23、31、53、62、63、76、83)とを含み、前記第1と第2のカンチレバーが、第2のカンチレバー(13、23、31、53、62、63、76、83)の反りが、前記第1のカンチレバー(11、21、33、51、61、71、81)の反りに依存するように機械的に結合されたカンチレバー装置。

IPC (4)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  G11B 9/00 ,  G12B 1/00 601

FI (4)：

G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z ,  G11B 9/00 ,  G12B 1/00 601 G