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J-GLOBAL ID：200903085528415114

切削液、その製造方法およびインゴットの切断方法

Inventor： 鏑木 新吾 ,  芦田 昭雄 ,  木内 悦男 ,  早川 和男 ,  外山 公平
Applicant, Patent owner： 信越半導体株式会社 ,  大智化学産業株式会社 ,  三益半導体工業株式会社
Agent (1)： 舘野 公一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994224238
Publication number (International publication number)：1996057848
Application date： Aug. 25, 1994
Publication date： Mar. 05, 1996
Summary：

【要約】【目的】 非水溶性切削油を用いた場合における引火の危険性や、被切削材洗浄工程に伴う有機溶剤による大気汚染問題を解決するとともに、大径のシリコン単結晶等のインゴットを切断するときのスライス品の反りを低下させる。【構成】 2-メチル-1-ステアロイルイミダゾールおよび、2-メチル-1-オレイルイミダゾールの水溶液を主成分とし、この主成分に砥粒の分散性向上剤、保水性向上剤、摩擦係数低下剤、防錆力補助剤および消泡剤からなる群より任意に選ばれた一種または複数種の補助剤を添加することにより水溶性切削液とする。

Claim (excerpt)：

脂肪酸イミダゾールの水溶液を主成分とし、これに砥粒の分散性向上剤、保水性向上剤、摩擦係数低下剤、防錆力補助剤および消泡剤からなる群より任意に選ばれた一種または複数種の補助剤を含有することを特徴とする切削液。

IPC (17)：

B28D 5/04 ,  B24B 27/06 ,  C09K 3/14 550 ,  C10M173/02 ,  H01L 21/304 311 ,  C10M105:70 ,  C10M105:24 ,  C10M105:14 ,  C10M125:26 ,  C10M133:06 ,  C10M133:44 ,  C10N 10:02 ,  C10N 30:04 ,  C10N 30:12 ,  C10N 30:18 ,  C10N 40:22 ,  C10N 70:00