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J-GLOBAL ID：200903085563510057

真空パルス脱油装置

Inventor： 中務 栄治 ,  武田 正夫 ,  山内 一平
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 赤澤 一博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994016435
Publication number (International publication number)：1995214017
Application date： Feb. 10, 1994
Publication date： Aug. 15, 1995
Summary：

【要約】【目的】従来の塩素系有機溶剤洗浄に代わる新たな代替技術を実現する。【構成】容器1内を減圧し、ヒータ3によって処理物Wを150°C程度に加熱した後、ガス導入系7から千数百度に加熱した高温ガスを処理物Wにパルス状に吹き付け、その後速やかに排気系4を通じて導入したガスを排気するように構成した。

Claim (excerpt)：

処理物を装入する容器と、この容器内を排気する排気系と、前記処理物を加熱する第1の加熱手段と、前記容器内にパルス状にガスを導入するガス導入系と、導入されるガスを加熱する第2の加熱手段とを備え、排気系を通じて容器内を減圧状態に保持し、第1の加熱手段により処理物を低温加熱するとともに、第2の加熱手段により加熱した高温のガスを前記容器内にパルス状に導入して処理物に接触させるようにしていることを特徴とする真空パルス脱油装置。