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J-GLOBAL ID：200903085570311914

アルキルスルホニウム塩

Inventor： 前田 勝美 ,  中野 嘉一郎 ,  岩佐 繁之 ,  長谷川 悦雄
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993174528
Publication number (International publication number)：1995025846
Application date： Jul. 14, 1993
Publication date： Jan. 27, 1995
Summary：

【要約】【構成】 本発明によるアルキルスルホニウム塩(I)は、R1 が炭素数1ないし8の直鎖状、分岐状、又は環状アルキル基、R2 は炭素数5ないし7の環状アルキル基、R3 は炭素数5ないし7の2-オキソ環状アルキル基、Y- は対イオンであることを特徴とする。【効果】 本発明のアルキルスルホニウム塩は、220nm以下の遠紫外領域に対し高い透明性を有し、かつ遠紫外光等の放射線により有効にプロトン酸を発生することから、遠紫外光(とりわけ220nm以下の短波長光)用フォトレジストの感光剤(光酸発生剤)として有用である。【構成式】 化1

Claim (excerpt)：

下記の一般式(I)で表されるアルキルスルホニウム塩。【化1】(但し、R1 は炭素数1ないし8の直鎖状、分岐状、または環状アルキル基、R2 は炭素数5ないし7の環状アルキル基、R3 は炭素数5ないし7の2-オキソ環状アルキル基、Y- は対イオンを表す。)

IPC (3)：

C07C381/12 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029