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J-GLOBAL ID：200903085576991836

薄膜ガスセンサおよびそれを用いたガス警報器

Inventor： 鈴木 卓弥 ,  小野寺 克己 ,  河田 泰之 ,  井上 文宏 ,  津田 孝一
Applicant, Patent owner： 富士電機株式会社
Agent (1)： 谷 義一 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999061917
Publication number (International publication number)：2000258374
Application date： Mar. 09, 1999
Publication date： Sep. 22, 2000
Summary：

【要約】【課題】 低消費電力、かつ高感度の薄膜ガスセンサおよびこれを用いたガス漏れ警報器の提供。【解決手段】 絶縁層と感応層との間に、電気抵抗率が感応層よりも高く、かつ結晶性の高い下地層を設け、感応層のモルフォロジーを改善する。

Claim (excerpt)：

薄膜ガスセンサにおいて、SnO2 を含む感応層の下地として、電気抵抗率が前記感応層におけるよりも高く、かつ結晶性の高い下地層を設けることを特徴とする薄膜ガスセンサ。

IPC (2)：

G01N 27/12 ,  G08B 21/00

FI (2)：

G01N 27/12 B ,  G08B 21/00 W

F-Term (31)：

2G046AA11 ,  2G046AA19 ,  2G046AA21 ,  2G046AA24 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BB04 ,  2G046BE03 ,  2G046DB04 ,  2G046DB05 ,  2G046DC09 ,  2G046DD01 ,  2G046EA04 ,  2G046FB02 ,  2G046FE04 ,  2G046FE07 ,  2G046FE09 ,  2G046FE10 ,  2G046FE11 ,  2G046FE12 ,  2G046FE20 ,  2G046FE21 ,  2G046FE25 ,  2G046FE38 ,  2G046FE39 ,  2G046FE40 ,  2G046FE44 ,  2G046FE45 ,  2G046FE48 ,  2G046FE49