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J-GLOBAL ID：200903085607938793

位置合わせ方法および装置

Inventor： 井上 広
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991173667
Publication number (International publication number)：1993018902
Application date： Jul. 15, 1991
Publication date： Jan. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】本発明は、2組の画像データの画像間の位置合わせを誤りなく正確に行なえることを最も主要な特徴としている。【構成】本発明は、2組の画像データ(参照画像データおよび検査画像データ)の画像間の位置合わせを、画像データの入力同期クロックに合わせて2組の画像データの画素間の位置相関値である位置ずれ量を算出し、当該位置ずれ量に基づいて行なうようにした位置合わせ装置において、位置合わせされる画像データの領域よりも、位置ずれ量の算出に用いる画像データの領域を大きくとることを特徴としている。

Claim (excerpt)：

2組の画像データ(参照画像データおよび検査画像データ)の画像間の位置合わせを、前記画像データの入力同期クロックに合わせて前記2組の画像データの画素間の位置相関値である位置ずれ量を算出し、当該位置ずれ量に基づいて行なうようにした位置合わせ方法において、前記位置合わせされる画像データの領域よりも、前記位置ずれ量の算出に用いる画像データの領域を大きくとって、画像間の位置合わせを行なうようにしたことを特徴とする位置合わせ方法。

IPC (4)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/24 ,  G06F 15/62 400 ,  G06F 15/70 330