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J-GLOBAL ID：200903085609709473
ポジ型感光性樹脂組成物及びレリーフパターンの製造法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997339817
Publication number (International publication number)：1999174679
Application date： Dec. 10, 1997
Publication date： Jul. 02, 1999
Summary：
【要約】【課題】 i線等の活性光線に対する感度が極めて高く、アルカリ水溶液を用いて良好なパターンの形成ができるポジ型感光性樹脂組成物及びi線等の活性光線で露光し、アルカリ現像液を用いて現像して、良好なレリーフパターンが形成できるレリーフパターンの製造法を提供する。【解決手段】 (A)カルボキシル基又はフェノール性水酸基を有するポリイミド前駆体と(B)光により酸を発生する化合物を含むポジ型感光性樹脂組成物であって、前記(A)成分が、アルカリ水溶液に対する溶解速度比が5以上である2種のポリイミド前駆体の混合物であるポジ型感光性樹脂組成物及びこのポジ型感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、乾燥後、活性光線照射を行い、アルカリ水溶液で現像し、次いで加熱処理することを特徴とするレリーフパターンの製造法。
Claim (excerpt)：
(A)カルボキシル基又はフェノール性水酸基を有するポリイミド前駆体と(B)光により酸を発生する化合物を含むポジ型感光性樹脂組成物であって、前記(A)成分が、アルカリ水溶液に対する溶解速度比が5以上である2種のポリイミド前駆体の混合物であるポジ型感光性樹脂組成物。
IPC (5)：
G03F 7/039 501
, G03F 1/08
, G03F 7/027 514
, G03F 7/028
, H01L 21/027
G03F 7/039 501
, G03F 1/08 A
, G03F 7/027 514
, G03F 7/028
, H01L 21/30 502 R
