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J-GLOBAL ID：200903085617024315
洗浄乾燥方法とその装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
原田 信市
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992184647
Publication number (International publication number)：1994000459
Application date： Jun. 19, 1992
Publication date： Jan. 11, 1994
Summary：
【要約】【目的】 有機溶剤の使用制限に鑑み、純水や炭化水素系洗浄液等を使用することとし、かかる洗浄液を使用しても、洗浄力及び洗浄後の乾燥効果が非常に高く、しかも急速乾燥できて乾燥時間を短縮できるに加え、複雑な形状のものでもムラなく乾燥させることができるようにする。【構成】 洗浄液8が入った洗浄液槽1を気密に閉じて空気や窒素等の気体で大気圧以上に加圧しながら、洗浄液を大気圧下での沸点以上の温度に加熱し、その加圧加熱された洗浄液中に洗浄物27を浸漬して洗浄する。この後、洗浄物を洗浄液槽から蒸発乾燥室4に移し、蒸発乾燥室をシャッタ5で洗浄液槽と気密に遮断して蒸発乾燥室内を急激に減圧することにより洗浄物に付着している洗浄液を瞬時に蒸発させる。
Claim (excerpt)：
洗浄液が入った洗浄液槽を気密に閉じて空気や窒素等の気体で大気圧以上に加圧しながら、洗浄液を大気圧下での沸点以上の温度に加熱し、その加圧加熱された洗浄液中に洗浄物を浸漬して洗浄した後、この洗浄物を洗浄液槽から蒸発乾燥室に移し、該蒸発乾燥室を洗浄液槽と気密に遮断して蒸発乾燥室内を直ちに大気圧又はそれ以下に減圧することにより洗浄物に付着している洗浄液を蒸発させることを特徴とする洗浄乾燥方法。
IPC (2)：
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