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J-GLOBAL ID:200903085663407768
樹脂層の形成方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
梅田 勝
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992062746
Publication number (International publication number):1993266472
Application date: Mar. 19, 1992
Publication date: Oct. 15, 1993
Summary:
【要約】【構成】 スピンコート法による樹脂層の製造方法において、樹脂滴下後のスピンナーの高速回転中に、樹脂層外周部近傍に気体を吹き付けながら、樹脂層形成を行うことを特徴とする樹脂層の形成方法。【効果】 本発明の方法によりディスク端部での樹脂層の盛り上がり及び端面への樹脂の回り込みを抑えることができ、樹脂層の剥離を抑えることができ、信頼性に優れた高品質、かつ、きれいな光磁気ディスクを提供することができる。
Claim (excerpt):
スピンコート法による樹脂層の製造方法において、樹脂滴下後のスピンナー回転中に、樹脂層外周部近傍に気体を吹き付けながら、樹脂層形成を行うことを特徴とする樹脂層の形成方法。
IPC (5):
G11B 5/842
, B05D 1/40
, G11B 7/26
, G11B 11/10
, H01L 21/027
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
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特開昭64-047474
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特開昭62-160171
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