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J-GLOBAL ID：200903085665671489

散乱測定方法及び測定装置

Inventor： 谷 裕久 ,  鈴木 葉子
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000092994
Publication number (International publication number)：2001281093
Application date： Mar. 28, 2000
Publication date： Oct. 10, 2001
Summary：

【要約】【課題】 紫外領域での正確な散乱測定、更には散乱光の角度分布をも測定可能とした散乱光測定方法及び測定装置を提供することを目的とする。【解決手段】 光学素子から発生する散乱光の光量を測定する方法において、前記散乱光を測定する検出工程は、前記散乱光の波長を別の波長に変換する波長変換工程と、前記変換された波長を受光する受光工程とを備える方法とした。光学素子から発生する散乱光の光量を測定する装置において、前記散乱光を測定する検出部は、前記散乱光の波長を別の波長に変換する波長変換部材と、前記変換された波長を受光する受光部材とを備える構成とした。

Claim (excerpt)：

光学素子から発生する散乱光の光量を測定する方法において、前記散乱光を測定する検出工程は、前記散乱光の波長を別の波長に変換する波長変換工程と、前記変換された波長を受光する受光工程とからなることを特徴とする散乱測定方法。

IPC (3)：

G01M 11/00 ,  G01N 21/33 ,  G01N 21/49

FI (3)：

G01M 11/00 L ,  G01N 21/33 ,  G01N 21/49 Z

F-Term (11)：

2G059AA02 ,  2G059BB08 ,  2G059DD15 ,  2G059EE02 ,  2G059GG01 ,  2G059HH03 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ25 ,  2G059KK04 ,  2G059NN01 ,  2G086FF06