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J-GLOBAL ID：200903085672987114

透明導電膜付き基板の製造方法、透明導電膜付き基板およびそれを用いた液晶表示素子

Inventor：
豊島 隆之

About 豊島 隆之

, 
荻野 悦男

About 荻野 悦男


Applicant, Patent owner：
日本板硝子株式会社

About 日本板硝子株式会社


Agent (1)： 大野 精市
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998204960
Publication number (International publication number)：2000038654
Application date： Jul. 21, 1998
Publication date： Feb. 08, 2000
Summary：
【要約】【課題】 液晶表示用のカラーフイルタ等の有機物質の上に密着性が良好で比抵抗が小さいITO透明導電膜を被覆することはできなかった。【解決手段】 酸化錫を含有する酸化インジウム蒸着材料にアーク放電プラズマを照射して蒸着材料を蒸発させ、透明基板上にITO膜を被覆するITO透明導電膜付き基板の製造方法で、ガス雰囲気をキセノン、クリプトンまたはそれらを混合しガスを含むガス雰囲気とする。ガス雰囲気中に占めるキセノンとクリプトンの合計量の割合を30体積%以上とするのが好ましい。
Claim (excerpt)：
真空排気ポンプによる排気と全圧調整用ガスと放電ガスの導入により減圧したガス雰囲気を調整できる成膜室内で、酸化錫を含有する酸化インジウムの蒸着材料にアーク放電プラズマ発生ガンで発生させたアーク放電プラズマを照射して前記蒸着材料を蒸発させ、透明基板上にITO膜を被覆するITO透明導電膜付き基板の製造方法において、前記ガス雰囲気をキセノンまたは/およびクリプトンを含むガス雰囲気としたことを特徴とするITO透明導電膜付き基板の製造方法。
IPC (7)：
C23C 14/08 ,  C03C 17/245 ,  G02F 1/1335 505 ,  G02F 1/1343 ,  H01B 1/08 ,  H01B 5/14 ,  H01B 13/00 503
FI (7)：
C23C 14/08 D ,  C03C 17/245 A ,  G02F 1/1335 505 ,  G02F 1/1343 ,  H01B 1/08 ,  H01B 5/14 A ,  H01B 13/00 503 B
F-Term (39)：
2H091FA02Y ,  2H091FC01 ,  2H091FC02 ,  2H091FC29 ,  2H091GA03 ,  2H091LA02 ,  2H091LA12 ,  2H092HA04 ,  2H092MA08 ,  2H092MA35 ,  2H092NA18 ,  2H092NA28 ,  2H092PA08 ,  4G059AA08 ,  4G059AB19 ,  4G059AC12 ,  4G059EA03 ,  4G059EB03 ,  4G059GA01 ,  4G059GA12 ,  4K029AA09 ,  4K029BA50 ,  4K029BB02 ,  4K029BB08 ,  4K029BC09 ,  4K029DD05 ,  4K029EA05 ,  5G301CA02 ,  5G301CA15 ,  5G301CA23 ,  5G301CD03 ,  5G301CE01 ,  5G307FA01 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC05 ,  5G307FC10 ,  5G323BA02 ,  5G323BB04
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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