Pat

J-GLOBAL ID：200903085680514063

鉛含有ペロブスカイト構造複合酸化物強誘電体薄膜、 その製法及び材料

Inventor： 小木 勝実 ,  曽山 信幸 ,  善 英喜
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社
Agent (1)： 広瀬 章一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992148450
Publication number (International publication number)：1993319927
Application date： May. 15, 1992
Publication date： Dec. 03, 1993
Summary：

【要約】【目的】 優秀な誘電特性を有する鉛含有強誘電体薄膜の提供。【構成】 アルカリ金属不純濃度を1ppm以下としたPZT,PLZT高純度強誘電体薄膜によって達成される。

Claim (excerpt)：

一般式Pb1-xLax(ZryTi1-y)1-x/4O3(式中x、yは0または1より小さい小数)で表わされる鉛含有ペロブスカイト構造複合酸化物からなり、該酸化物に含まれるLi、Na、Kの合計含有量が1ppm以下であることを特徴とする強誘電体薄膜。

IPC (3)：

C04B 35/49 ,  B01J 19/00 ,  H01B 3/12 301