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J-GLOBAL ID:200903085688666997

フィルム搬送機構およびこのフィルム搬送機構を具えたフィルム露光装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992075618
Publication number (International publication number):1993241247
Application date: Feb. 27, 1992
Publication date: Sep. 21, 1993
Summary:
【要約】 (修正有)【目的】パーフォレーションのないフィルムを摩擦ローラによる摩擦駆動力で搬送する搬送機構において、フィルムが偏向や蛇行などの横ズレを起こさないようにすることである。【構成】搬送ユニット17と、フィルムの横ズレ検出器16と、搬送ユニット駆動機構18と、フィルムの保持台22とよりなるフィルム搬送機構において、フィルムの搬送時においては、フィルム保持台22に対するフィルムの保持を解除して、フィルムの搬送中もしくは搬送後に横ズレ検出器16からの信号を受けて搬送ユニット17を移動させ、フィルムが所望の位置に達した時にフィルムを保持台で保持し、その後、フィルムをフィルム保持台で保持した状態のまま搬送ユニット17を基準の位置まで戻すことを特徴とする。また、照射部と、フォトマスクと、投影レンズと、前記搬送機構よりなるフィルム露光装置。
Claim (excerpt):
フィルムを1コマずつ送る送りローラと、送りローラを駆動する送りモータと、送りローラとある距離を持って配置され、フィルムに送り方向のテンションをかけるためにブレーキをかけるブレーキローラと、ブレーキローラを駆動するトルクモータと、送りローラとブレーキローラの各々とペアとなって、フィルムの幅方向における両端部でフィルムと圧接する押えローラとよりなる搬送ユニットと、搬送台に装着して、送りローラとブレーキローラの間にあって、フィルムの幅方向のズレを検出する横ズレ検出器と、該搬送ユニットをフィルムの幅方向に平行移動させる搬送ユニット駆動機構と、搬送台に固定されフィルムの長手方向及び幅方向の所望の位置にフィルムを保持するフィルム保持台とよりなり、フィルムの搬送時においては、フィルム保持台に対するフィルムの保持を解除し、フィルムの搬送中、もしくは搬送後に、横ズレ検出器からの信号を受けて搬送ユニットを搬送ユニット駆動機構によって移動させ、フィルムが所望の位置に達したときに、フィルムをフィルム保持台で保持し、その後、フィルムをフィルム保持台で保持した状態のまま、搬送ユニットを基準位置に戻すことを特徴とするフィルム搬送機構。
IPC (2):
G03B 27/32 ,  G03F 7/20

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