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J-GLOBAL ID：200903085697968165

透明な試料層の厚さを干渉測定する装置

Inventor： ゲルハルト ホーベルク
Applicant, Patent owner： カール-ツアイス-スチフツング
Agent (1)： 矢野 敏雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992066805
Publication number (International publication number)：1993087536
Application date： Mar. 25, 1992
Publication date： Apr. 06, 1993
Summary：

【要約】【目的】 大きい層厚の場合でも短い測定時間で正確な測定が可能な、透明な試料層(11)の厚さを干渉測定可能な装置を提供する。【構成】 試料層(11)の前または後に、試料層(11)とほぼ等しい光学的厚さを有する実在または仮想の平行平面の参照層(16)を配置し、分光計で波長に依存する強度の経過を測定する。

Claim (excerpt)：

白色光用光源(14)、干渉層(16)および受光装置(15)からなり、干渉層は試料層(11)とほぼ等しい光学的厚さを有しかつ該層を試料層(11)の前または後で光源(14)のビームが透過する、透明な試料層(11)の厚さを干渉測定する装置において、干渉層が平行平面の実在層(16d)または仮想層(46d,56d)であり、受光装置が波長に依存する強度の経過を測定するための分光計(15)であることを特徴とする透明な試料層の厚さを干渉測定する装置。