六フッ化硫黄ガス回収装置および方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高田幸彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002258631
Publication number (International publication number)：2004091298
Application date： Sep. 04, 2002
Publication date： Mar. 25, 2004
Summary：

【課題】最終の廃棄施設へ輸送効率のよい液化状態で搬送可能となるような回収手段、方法を採用し、簡易にSF6ガスを回収できるシステムおよび方法を提供する。【解決手段】六フッ化硫黄ガスの液化手段と、液化した六フッ化硫黄回収容器と、該液化六フッ化硫黄回収容器の上部に滞留する空気および六フッ化硫黄ガスの混合ガスを排出する排出手段と、該排出手段に設けられ、排出された空気の混入量を計測する計測手段と、該計測手段によって計測された空気の混入量に基づいて制御される圧力調整手段と、排出された混合ガスから一部の空気を分離する膜分離手段とから循環系を形成し、該循環系に、空気が混入した六フッ化硫黄ガスを投入する投入手段を接続し、かつ前記六フッ化硫黄回収容器から液化六フッ化硫黄回収する。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

六フッ化硫黄ガスを液化して液化六フッ化硫黄として回収する六フッ化硫黄回収システムにおいて、六フッ化硫黄ガスの液化手段と、液化した液化六フッ化硫黄回収手段と、該液化六フッ化回収手段に滞留する空気とおよび六フッ化硫黄を排出する排出手段と、六フッ化硫黄ガスと空気との混合ガス中の空気の混入量を計測する計測手段によって計測された空気の混入量データに基づいて圧力制御する圧力調整手段と、混合ガスを循環して前記圧力制御の下に、一部の空気を分離する空気分離手段とから循環回収系統を形成し、混合ガスから繰り返して六フッ化硫黄ガスを回収することを特徴とする六フッ化硫黄回収装置。

IPC (2)：

C01B17/45 , F25J1/00

FI (2)：

C01B17/45 G , F25J1/00 D

F-Term (4)：

4D047AA07 , 4D047AB00 , 4D047BA03 , 4D047BA06

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

SF6ガス回収・精製処理装置及び方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-163715 Applicant：株式会社日立製作所, 株式会社日立エンジニアリングサービス, 昭和電工株式会社
特開昭56-090192
ガス回収装置及びガス回収方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-131301 Applicant：株式会社東芝

Cited by examiner (3)

SF6ガス回収・精製処理装置及び方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-163715 Applicant：株式会社日立製作所, 株式会社日立エンジニアリングサービス, 昭和電工株式会社
特開昭56-090192
ガス回収装置及びガス回収方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-131301 Applicant：株式会社東芝

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