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J-GLOBAL ID：200903085738007868
近接場光走査型顕微鏡
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994263583
Publication number (International publication number)：1996122344
Application date： Oct. 27, 1994
Publication date： May. 17, 1996
Summary：
【要約】【目的】試料の位置を変えることなしに、入射光方向を変化させ、試料像と干渉縞の区別を容易にし、多角的な試料光学像を高精度に測定可能とする近接場光走査型顕微鏡を提供する。【構成】試料10にエバネッセント波を発生させ、これを伝搬光に変換し、光検出器16で検出して、試料の光学的な像を測定する手段を備え、試料面内でのエバネッセント波の方向による検出光の差異を計測するために、入射光方向を試料に垂直な軸まわりに回転させる回転光学系30を備えるか、若しくは、光検出器に入射する光の方向を選択する回転スリットを備える。
Claim (excerpt)：
試料とプローブとを光の波長以下まで接近若しくは接触させ、前記試料の光学情報を測定する近接場光走査型顕微鏡において、前記プローブの軸に対して円周方向に方向依存性をもつ前記試料からの光学情報を検出する光学系を備えていることを特徴とする近接場光走査型顕微鏡。
IPC (2)：
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