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J-GLOBAL ID:200903085738891687

超音波アクチュエータ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 伊藤 進
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993016557
Publication number (International publication number):1994233560
Application date: Feb. 03, 1993
Publication date: Aug. 19, 1994
Summary:
【要約】【目的】 比較的小型で、コスト的に低価格な、アクチュエータの状態を検出する検出手段を有する超音波アクチュエータを提供する。【構成】 弾性体6とこの弾性体6に固定された圧電素子7a,7b,8とからなり、該圧電素子7a,7b,8に交流電圧を印加することにより弾性体6に楕円振動を発生させる超音波振動子1と、この超音波振動子1に圧接された被駆動体13と、上記振動子1の、上記被駆動体13の移動方向と略平行な方向の振幅を検出する磁石11とコイル12とで構成された振動センサとを具備しており、上記振動センサにより検出された上記振幅を制御することにより、上記被駆動体13の駆動状態を制御することを特徴とする超音波アクチュエータ2。
Claim (excerpt):
弾性体に固定された電気-機械エネルギー変換素子からなり、該電気-機械エネルギー変換素子に交流電圧を印加することにより弾性体に楕円振動を発生させる超音波振動子と、この超音波振動子に圧接された移動体と、上記振動子の、上記移動体の移動方向と略平行な方向の振幅を検出する検出手段と、を具備しており、上記検出手段により検出された上記振幅を制御することにより、上記移動体の駆動状態を制御することを特徴とする超音波アクチュエータ。
IPC (2):
H02N 2/00 ,  B23Q 5/28

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