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J-GLOBAL ID：200903085771979905

テレセントリック照明光学装置

Inventor： 斎藤 道明
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994263568
Publication number (International publication number)：1996122643
Application date： Oct. 27, 1994
Publication date： May. 17, 1996
Summary：

【要約】【目的】最小形状の光学部品の使用を可能として装置全体の小型化に大きく寄与し得るテレセントリックな照明光学装置の提供にある。【構成】光源と、該光源からの光束を集光して光源像を形成する集光光学系と、該光源像からの光束をコリメートして被照明面を照明するコリメート光学系とを有するテレセントリックな照明光学装置において、前記コリメート光学系は、前記光源側から順に、正の屈折力を持つ第1コリメートレンズと、正の屈折力を持つ第2コリメートレンズとを有する構成とした。

Claim (excerpt)：

光源と、該光源からの光束を集光して光源像を形成する集光光学系と、該光源像からの光束をコリメートして被照明面を照明するコリメート光学系とを有するテレセントリック照明光学装置において、前記コリメート光学系は、前記光源側から順に、正の屈折力を持つ第1コリメートレンズと、正の屈折力を持つ第2コリメートレンズとを有することを特徴とするテレセントリック照明光学装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭56-165111
  
• 特開昭60-258512