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J-GLOBAL ID：200903085788555530

ポジ型感放射線性組成物

Inventor：
漢那 慎一

About 漢那 慎一

, 
児玉 邦彦

About 児玉 邦彦


Applicant, Patent owner：
富士写真フイルム株式会社

About 富士写真フイルム株式会社


Agent (1)： 小栗 昌平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000318057
Publication number (International publication number)：2001249460
Application date： Oct. 18, 2000
Publication date： Sep. 14, 2001
Summary：
【要約】【課題】 疎密依存性と露光マージンが優れるポジ型感放射線性組成物を提供すること。【解決手段】 特定のアセタール構造を有する酸分解性基を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、活性光線又は放射線の照射により酸を発生し、前記酸分解性基の分解反応に寄与する化合物のうち少なくとも1種、活性光線又は放射線の照射により酸を発生し、前記酸分解性基の分解反応に寄与しない化合物のうち少なくとも1種、界面活性剤、溶剤を含有するボジ型感放射線性組成物。
Claim (excerpt)：
(a)下記一般式(I)で示される酸分解性基を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、(b-1)活性光線又は放射線の照射により酸を発生し、前記酸分解性基の分解反応に寄与する化合物のうち少なくとも1種、(b-2)活性光線又は放射線の照射により酸を発生し、前記酸分解性基の分解反応に寄与しない化合物のうち少なくとも1種、(c)界面活性剤、及び(d)溶剤を含有することを特徴とするボジ型感放射線性組成物。【化1】一般式(I)中、R1は炭素数1〜4個のアルキル基を表す。Wは、酸素原子、窒素原子、イオウ原子、リン原子及び珪素原子からなる群から選択される少なくとも1種の原子と少なくとも1つの炭素原子を含有する有機基、アミノ基、アンモニウム基、メルカプト基、置換あるいは無置換のアリール基、又は置換あるいは無置換の環状アルキル基を表す。nは、1〜4の整数を表す。
IPC (7)：
G03F 7/039 601 ,  C08K 5/00 ,  C08L101/06 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 504 ,  H01L 21/027
FI (7)：
G03F 7/039 601 ,  C08K 5/00 ,  C08L101/06 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 Z ,  G03F 7/004 504 ,  H01L 21/30 502 R
F-Term (32)：
2H025AA00 ,  2H025AB03 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BE08 ,  2H025BG00 ,  2H025CC03 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4J002AA051 ,  4J002BC121 ,  4J002BG021 ,  4J002BG091 ,  4J002BG121 ,  4J002CH052 ,  4J002EB106 ,  4J002EH057 ,  4J002EU186 ,  4J002EU216 ,  4J002EV226 ,  4J002EV296 ,  4J002FD206 ,  4J002FD312 ,  4J002FD317
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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