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J-GLOBAL ID：200903085826181061

液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置

Inventor： 井出 勝也 ,  大池 一夫
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996167738
Publication number (International publication number)：1998010585
Application date： Jun. 27, 1996
Publication date： Jan. 16, 1998
Summary：

【要約】【課題】 MIM素子を備えた液晶表示装置の製造方法において、第2電極の形状を改良することにより、第2電極に起因する表示品位の低下や欠陥の発生を防止する新規の製造方法を実現する。【解決手段】 MIM素子を構成する第1電極部、絶縁膜及び第2電極12のうち、Crから成る第2電極12を、硝酸第2セリウムアンモニウムを一定量(10.5wt%)とし、硝酸の混入量を適宜調節したエッチング液によってパターニングを行い、パターニングされた第2電極12の周縁部側面12cの基板面に対する傾斜角(以下テーパー角という。)が30度以上90度未満になるようにした。

Claim (excerpt)：

配線に接続された第1電極の表面上に絶縁膜を介してパターニングされた第2電極を形成し、該第2電極に対し画素電極を接続して成る液晶表示装置の製造方法において、前記第2電極のパターニング工程において前記第2電極の周縁部側面の水平面に対する傾斜角が30度以上90度未満になるようにエッチング処理を施すことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。

IPC (2)：

G02F 1/136 510 ,  H01L 49/02

FI (2)：

G02F 1/136 510 ,  H01L 49/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平2-081031
  
• MIM型非線形素子及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-088874   Applicant：セイコーエプソン株式会社
• 特開平2-140726
  
• 特開平4-344617