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J-GLOBAL ID：200903085850084662
走査型プロ-ブ顕微鏡用カンチレバ-の作製方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999080033
Publication number (International publication number)：1999337563
Application date： Mar. 24, 1999
Publication date： Dec. 10, 1999
Summary：
【要約】【課題】レバー部の長さと厚さのばらつきが少ないカンチレバーを安定に作製する方法を提供する。【解決手段】レバーべース部120の最初の厚さT0(例えば2μm)は、フォトリソグラフィとドライエッチングの工程によって決められる。その後、レバーべース部120のシリコンが酸化されて酸化シリコン膜の壁128が形成される。その結果として、レバーベース部120の厚さはT0からT1(例えば1.2μm)に減少する。さらに、レバーべース部120の残りのシリコンの一部が酸化されて酸化シリコン膜132が形成される。その結果として、レバーベース部120の厚さはT1からT2(例えば0.4μm)に減少する。この工程の終了後に残っているレバーべース部120が、その後の酸化シリコン膜を除去する工程を経てレバー部140となる。
Claim (excerpt)：
半導体基板を選択的に除去して、レバー部を備えた走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーを作製する方法において、形成するレバー部の長さ方向と厚さ方向が半導体基板の主面に平行に選ばれ、レバー部の幅方向が半導体基板の厚さ方向に選ばれていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーの作製方法。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
