ダイヤモンド積層膜、弾性表面波素子およびEL素子

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：石井陽一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993187289
Publication number (International publication number)：1995017795
Application date： Jun. 30, 1993
Publication date： Jan. 20, 1995
Summary：

【要約】【目的】自形面をもたず、また、基体との付着強度の極めて高いダイヤモンド薄膜を実現することを目的とする。また、このようなダイヤモンド薄膜を表面波伝搬膜として用いることにより、伝搬特性の良好な弾性表面波素子を提供することを目的とし、さらに、このようなダイヤモンド薄膜を発光体膜として用いることにより、信頼性の高いEL素子を提供することを目的とする。【構成】基体上に下地膜を有し、この下地膜上にダイヤモンド薄膜を有するダイヤモンド積層膜において、下地膜に基体構成元素の少なくとも1種と炭素とを含有させ、下地膜のダイヤモンド薄膜側表面における炭素含有率を基体側表面における炭素含有率よりも大きくする。

Claim (excerpt)：

基体上に下地膜を有し、この下地膜上にダイヤモンド薄膜を有するダイヤモンド積層膜であって、下地膜が基体構成元素の少なくとも1種と炭素とを含有し、下地膜のダイヤモンド薄膜側表面における炭素含有率が基体側表面における炭素含有率よりも大きいことを特徴とするダイヤモンド積層膜。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平3-215393
特開昭61-106494
特開平4-254584

Show all

Return to Previous Page