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J-GLOBAL ID：200903085915983880

ポジ型レジスト組成物

Inventor： 阿出川 豊 ,  上西 一也 ,  白川 浩司
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 小栗 昌平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000153235
Publication number (International publication number)：2001337455
Application date： May. 24, 2000
Publication date： Dec. 07, 2001
Summary：

【要約】【課題】 高感度、高解像力を有し、矩形状の優れたパターンプロファイルを与えることができ、しかもPCD、PED安定性及び塗布性に優れたポジ型電子線又はX線レジスト組成物を提供すること。【解決手段】 (a)放射線の照射により酸を発生する化合物、(b)カチオン重合性の機能を有する化合物(c)有機塩基性化合物を含有することを特徴とするポジ型電子線又はX線レジスト組成物。

Claim (excerpt)：

(a)放射線の照射により酸を発生する化合物、(b)カチオン重合性の機能を有する化合物(c)有機塩基性化合物を含有することを特徴とするポジ型電子線又はX線レジスト組成物。

IPC (16)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/039 601 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/46 ,  C08F 16/14 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/16 ,  C08L 25/18 ,  C08L 29/10 ,  C08L101/06 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/004 504 ,  G03F 7/027 ,  H01L 21/027

FI (16)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/039 601 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/46 ,  C08F 16/14 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/16 ,  C08L 25/18 ,  C08L 29/10 ,  C08L101/06 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 Z ,  G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/004 504 ,  G03F 7/027 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (139)：

2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD03 ,  2H025BC23 ,  2H025BC32 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025CB52 ,  2H025CC03 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4J002BC011 ,  4J002BC031 ,  4J002BC072 ,  4J002BC091 ,  4J002BC111 ,  4J002BC121 ,  4J002BC122 ,  4J002BE041 ,  4J002BG052 ,  4J002BG062 ,  4J002BG071 ,  4J002BG072 ,  4J002BG102 ,  4J002BH022 ,  4J002BQ001 ,  4J002CH053 ,  4J002CP033 ,  4J002EB116 ,  4J002EB126 ,  4J002EB146 ,  4J002ED056 ,  4J002ED057 ,  4J002EE037 ,  4J002EH127 ,  4J002EH146 ,  4J002EL077 ,  4J002EL087 ,  4J002EL097 ,  4J002EP016 ,  4J002EQ018 ,  4J002ER008 ,  4J002ER028 ,  4J002ES006 ,  4J002EU048 ,  4J002EU078 ,  4J002EU118 ,  4J002EU126 ,  4J002EU138 ,  4J002EU148 ,  4J002EU186 ,  4J002EU208 ,  4J002EU238 ,  4J002EV067 ,  4J002EV207 ,  4J002EV216 ,  4J002EV217 ,  4J002EV256 ,  4J002EV306 ,  4J002EV307 ,  4J002EV316 ,  4J002FD310 ,  4J002FD313 ,  4J002GP03 ,  4J002HA05 ,  4J011AA05 ,  4J011AC04 ,  4J011BB01 ,  4J011BB02 ,  4J011PA24 ,  4J011PA26 ,  4J011PA30 ,  4J011PA40 ,  4J011PA45 ,  4J011PA69 ,  4J011PB40 ,  4J011PC02 ,  4J011QA08 ,  4J011QA09 ,  4J011QA33 ,  4J011RA03 ,  4J011SA73 ,  4J011SA78 ,  4J011SA83 ,  4J011SA87 ,  4J011TA10 ,  4J011UA03 ,  4J011UA04 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J100AB02P ,  4J100AB03P ,  4J100AB07P ,  4J100AG08P ,  4J100AL10P ,  4J100AQ01P ,  4J100AQ28P ,  4J100BA02P ,  4J100BA03P ,  4J100BA04P ,  4J100BA05P ,  4J100BA08P ,  4J100BA14P ,  4J100BA15P ,  4J100BA20P ,  4J100BA29P ,  4J100BA31P ,  4J100BA34P ,  4J100BA40P ,  4J100BA41P ,  4J100BA51P ,  4J100BA52P ,  4J100BA54P ,  4J100BA58P ,  4J100BA59P ,  4J100BA66P ,  4J100BB01P ,  4J100BB03P ,  4J100BC02P ,  4J100BC03P ,  4J100BC04P ,  4J100BC43P ,  4J100BC48P ,  4J100BC49P ,  4J100BC53P ,  4J100BC54P ,  4J100BC65P ,  4J100BC83P ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100JA38