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J-GLOBAL ID：200903085923107666
薄膜形成用基板加熱装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山口 巖
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992058525
Publication number (International publication number)：1993267179
Application date： Mar. 17, 1992
Publication date： Oct. 15, 1993
Summary：
【要約】【目的】一方の端面が透光用石英ガラス板で閉鎖され、他方の端面が大気に連通する開口を備えたヒータ容器内に、一平面内に同心に配した複数のリング状赤外線ランプからなる赤外線ランプヒータと、内側が全反射面に形成されてヒータを収容するとともに冷却媒体により冷却される円筒状レフレクタとを備えた基板加熱装置を、基板のより高温加熱が可能な装置とする。【構成】レフレクタ3周壁の肉厚内に軸方向の連通穴60と、この連通穴60の先端に接続してレフレクタ3の内側へ開口する噴出ノズル61とを形成し、かつヒータ容器内の開口7a側の空間内に、赤外線ランプの端子21aに冷却ガスを吹き付ける噴出ノズル63を有する給気マニホールド62を設けて赤外線ランプと端子21aとを冷却ガスで冷却するか、レフレクタ3の内側に円錐台状反射面70を形成して赤外線ランプと端子とを照射する反射光の光量を低減させる。
Claim (excerpt)：
それぞれ径の異なる複数のリング状赤外線ランプを一平面内に同心に配した円形平面状の赤外線ランプヒータと、一方端が開放され他方端に底面を有する円筒状に形成されて前記赤外線ランプヒータを底面近傍に収容するとともに円筒の内面全面が反射面に形成されかつ底面に各赤外線ランプの棒状端子を底面外方へ空隙を保って突き出させる貫通孔を備えたレフレクタと、該レフレクタを同軸に収容する円筒状容器として形成されレフレクタの開放端面側が光を通すための石英ガラス板により気密に閉鎖されるとともに他方の端面が前記赤外線ランプヒータに加熱電流を供給するための給電配線と,レフレクタを冷却する冷却媒体が通る冷却配管とを通すとともに両端面の間の内部空間を大気に連通させる開口を備えたヒータ容器とを備え、真空中にある半導体ウエーハ等の基板を加熱して基板上に薄膜を気相成長させる基板加熱装置において、円筒状レフレクタ周壁の肉厚内を底面の外側の面から軸方向に円筒の開放端面近傍まで冷却ガスの流路を構成する穴を穿設するとともに、この穴の先端に接続して円筒の内側へ開口する噴出ノズルを形成し、前記軸方向の穴と噴出ノズルとを通して冷却ガスを円筒状レフレクタの内側に送り込むようにするとともに、ヒータ容器内の開口側空間内に赤外線ランプの端子に向けて冷却ガスを噴出する噴出ノズルを備えた給気マニホールドを設け、赤外線ランプの端子に冷却ガスを吹き付けるようにしたことを特徴とする薄膜形成用基板加熱装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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