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J-GLOBAL ID：200903085923548832

プローブカード

Inventor： 風見 哲夫
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 菅野 中
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992318962
Publication number (International publication number)：1994163657
Application date： Nov. 27, 1992
Publication date： Jun. 10, 1994
Summary：

【要約】【目的】 プローブ針及び基板の空冷を行うことにより、プローブ針,基板の自己発熱による破損を防止する。【構成】 プローブカード基板に垂直に密集して取り付けられたプローブ針及び基板の近傍に、送風を行うためのパイプ1-5と、吸気を行うためのパイプ1-6を設け、プローブ針,基板への送風,吸気を行うことにより、プローブ針,基板で大電流によって発生した熱の放出を行う。また、基板にヒートシンク1-7を取り付けることにより放熱効率を上げる。

Claim (excerpt)：

送風手段を有し、半導体集積回路にプローブ針を接触させてウェハ検査を行うためのプローブカードであって、プローブ針は、プローブカード基板に垂直に密集されて植立されたものであり、送風手段は、プローブ針にエアーを吹付けて空冷するものであることを特徴とするプローブカード。

IPC (4)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  H01L 23/467

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭64-057180
  
• 特開昭64-008640
  
• 特開昭53-045976