撮像装置及び方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：伊東忠彦 (外2名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001563889
Publication number (International publication number)：2003525447
Application date： Mar. 05, 2001
Publication date： Aug. 26, 2003
Summary：

【要約】画像及び/又はスペクトル情報を得ることのような試料を調査するための技術の範囲を記載する。その技術は、試料の表面より下の深さの連続関数として試料に関する構造の情報を導出する方法、試料内の二つの界面の間に位置する試料の構造の一部分を評価する方法、並びにコントラストを増強する、方法及び迅速な画像収集時間を有する装置を含む。

Claim (excerpt)：

試料を調査する方法であって、試料の表面を電磁放射のパルスで照射するステップ、前記試料から反射した前記放射を検出するステップ、及び前記試料に関する構造の情報を前記試料の表面からの深さの関数として導出するステップ、を含み、前記パルスは、25GHzから100THzまでの範囲における複数の周波数を有する方法。

IPC (3)：

G01N 21/17 625 , A61B 10/00 , G01N 21/35

FI (3)：

G01N 21/17 625 , A61B 10/00 E , G01N 21/35 Z

F-Term (26)：

2G059AA02 , 2G059AA06 , 2G059BB12 , 2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059EE05 , 2G059EE11 , 2G059FF02 , 2G059FF04 , 2G059GG01 , 2G059GG06 , 2G059HH01 , 2G059HH02 , 2G059HH05 , 2G059HH06 , 2G059JJ11 , 2G059JJ13 , 2G059JJ14 , 2G059JJ20 , 2G059JJ22 , 2G059KK01 , 2G059MM01 , 2G059MM04 , 2G059MM08 , 2G059MM09 , 2G059PP04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

検査対象物の組成画像をリアルタイムで提供する方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-057176 Applicant：ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド

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