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J-GLOBAL ID：200903085963676353

露光装置の搬送装置

Inventor： 西出 信彦 ,  井上 光郎
Applicant, Patent owner： 大日本スクリーン製造株式会社
Agent (1)： 下出 隆史 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993158021
Publication number (International publication number)：1994348025
Application date： Jun. 03, 1993
Publication date： Dec. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 プリアライメント動作を短時間で行なえ、しかもプリアライメント動作の際における基板表面へのスリ傷の発生を抑制する。【構成】 露光装置100の基板供給部200は、X軸に沿って移動するX軸センタリングユニット230,254とY軸に沿って移動するY軸センタリングユニット260,280を有する。各センタリングユニットには、X軸ガイドピン212,Y軸ガイドピン220等が突出して設けられている。基板供給部200に基板Kが搬送されると、各軸のセンタリングユニットを中央に移動し、基板Kを基板供給部200の中央にプリアライメントする。2枚目以降の基板Kのプリアライメントに際しては、一旦各軸のセンタリングユニットをプリアライメント位置から僅かに後退させておき、この位置から各軸のセンタリングユニットを移動して2枚目以降の基板Kのプリアライメントを行なう。

Claim (excerpt)：

原板に基板を密着させて露光する露光手段に、搬送ラインから搬送された基板を所定位置に位置決めしてから該基板を搬送する露光装置の搬送装置において、上記搬送ラインから基板が搬送される位置決め台と、この位置決め台に搬送された基板を該位置決め台上で移動させるとともに、上記所定位置から離間した初期位置から上記所定位置までの移動範囲を有する可動部材と、この可動部材を駆動する駆動手段と、最初の基板の搬送時に、駆動手段に対して、可動部材を上記初期位置から上記所定位置まで駆動指令する第1制御部と、上記基板が露光手段に搬送された後に、駆動手段に対して、上記初期位置と上記所定位置との間の待機位置で待機する指令を出力し、続く基板の搬送時に、上記待機位置から上記所定位置まで駆動指令する第2制御部と、を有する制御手段と、を備えたことを特徴とする露光装置の搬送装置。

IPC (7)：

G03F 7/20 ,  B65G 13/00 ,  B65G 43/00 ,  B65G 47/91 ,  G03B 27/02 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00