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J-GLOBAL ID:200903085966843692

カラーフィルターの検査方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 米澤 明 (外7名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992087071
Publication number (International publication number):1993288640
Application date: Apr. 08, 1992
Publication date: Nov. 02, 1993
Summary:
【要約】【目的】 カラーフィルターの異物混入あるいは突起等による異常個所の検出を正確に、短時間に行う。【構成】 カラーフィルターの着色画素あるいは保護膜等に混入した異物あるいは突起等の異常個所を検出するために、単色光の光源を用いてカラーフィルターを照射し、反射光もしくは透過光を光検出器を用いて検出して、異常個所を検出するものであり、比較信号を比較カラーフィルターの試料カラーフィルターと同一の個所から得られる信号として比較したり、あるいは光検出器をラインセンサとして、現在の検出値と直前のラインの検出値とを比較して検出するものである。
Claim (excerpt):
カラーフィルターの着色画素あるいは保護膜等に混入した異物あるいは突起等の異常個所を検出するカラーフィルターの検査方法において、単色光の光源を用いてカラーフィルターを照射し、反射光もしくは透過光を光検出器を用いて検出し、光検出器の出力を比較信号と比較して異常個所を検出することを特徴とするカラーフィルターの検査方法。
IPC (2):
G01M 11/00 ,  G02B 5/20 101
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
  • 特開平3-274447
  • 特開昭62-215779
  • 特開平3-006410
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