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J-GLOBAL ID：200903085986057243

薄膜トランジスタ回路およびアクティブマトリクス型画像表示装置

Inventor： 久保田 靖 ,  佐々木 修
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 山本 秀策
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995207205
Publication number (International publication number)：1997055510
Application date： Aug. 14, 1995
Publication date： Feb. 25, 1997
Summary：

【要約】【課題】 多結晶シリコンからなる薄膜トランジスタ回路において、動作速度と保持性能を両立させ、表示性能に優れた画像表示装置を得る。【解決手段】 薄膜トランジスタ回路10において、高速動作が要求されるスタティック回路12を、結晶化を助長する金属元素が添加された多結晶シリコン膜からなるチャネル領域を有するトランジスタを用いて構成し、低リーク電流が要求されるダイナミック回路11を、結晶化を助長する金属元素を含まない多結晶シリコン膜からなるチャネル領域を有するトランジスタを用いて構成する。

Claim (excerpt)：

絶縁性基板上に形成され、結晶化を助長する金属元素が添加された多結晶シリコン膜からなるチャネル領域を有する第1のトランジスタと、絶縁性基板上に形成され、結晶化を助長する金属元素を含まない多結晶シリコン膜からなるチャネル領域を有する第2のトランジスタとを含む薄膜トランジスタ回路。

IPC (5)：

H01L 29/786 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 21/324 ,  H01L 27/12 ,  H01L 21/336

FI (5)：

H01L 29/78 612 B ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 21/324 Z ,  H01L 27/12 R ,  H01L 29/78 627 G