Pat

J-GLOBAL ID：200903085986483005

膜の平坦化方法

Inventor： 秋月 誠 ,  平瀬 征基 ,  渡辺 裕之
Applicant, Patent owner： 三洋電機株式会社
Agent (1)： 岡田 敬
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994138945
Publication number (International publication number)：1996008231
Application date： Jun. 21, 1994
Publication date： Jan. 12, 1996
Summary：

【要約】【目的】 有機SOG膜の表面をエッチング速度の低下を軽減しつつ均一にエッチングすること。【構成】 平坦化すべき膜が、有機SOG膜の場合は、CF4等の炭素系ガスによりエッチング速度を早め、炭素系ガスと有機SOG膜の有機成分との反応によって生じたポリマーをAr等の不活性ガスで除去する。これを交互に繰り返すことにより、エッチング速度の低下を軽減しつつ有機SOG膜の表面を均一にエッチングできる。

Claim (excerpt)：

形成された膜の上面を不活性ガスを使用してエッチングすることによって平坦化したことを特徴とする膜の平坦化方法。

IPC (4)：

H01L 21/3065 ,  C23F 1/00 ,  C23F 1/12 ,  H01L 21/316

FI (2)：

H01L 21/302 L ,  H01L 21/302 F